同时西边也成立euv极紫外联盟,远景目标定到了10纳米。
相比之下,国内还在用汞灯g线光源的光刻机,无论是技术还是前景,都已经落后得让人绝望,以至于此后的十五年内,国内都绝口不提光刻机。
可苏远山却是知道,krf193+浸润式,可是能用到2020年!
现在这台已经完成的光刻机是1.5微米节点,相比最先进的落后三到四代。如果继续按照原有的步伐,要追上也得十几年。
所以苏远山决定力劝郑振川,无论如何也要抛弃可见光了。
而且要搞光源,还得拉上成光所它爹,长光所。
(凭记忆写的节点,大概没错……回头再查查,有问题我修正)
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